智现未来RMS与MES、EAP联动，实时管控自动化系统，确保生产程序的一致性，实现设备Recipe的自动上传下载、对比修订、变更审批、Golden/Unique、历史版本管理等功能，降低人工操作对Recipe参数的出错率，提高设备生产良率及人工作业效率，在生产中实现0工艺程序故障。
智现未来RMS 工艺程序管理系统
Equipment Recipe Management System
降低人为操作出错率，实现零工艺程序故障
提高质量和工程生产力
灵活、高效和用户友好型 RMS，支持更好地全厂性运营
工艺程序设置错误造成巨大损失
每年都会发生多次大大小小的工艺程序错误，而错误的工艺程序设置未被检测，造成过千万美元损失。
提升企业竞争力的必要性
为工程师提供在质量要求颇高的半导体和平板显示器制造环境中立于不败之地所需要的竞争优势。
人为管理工艺配方费时低效
手动编辑、复制工艺配方的传统工艺配方管理方式增加人为操作出错率，且过程费力
重要性
IMPORTANCE
改进质量
提高全厂性工艺配方管理效率
用于改进质量的工艺配方验证
基于参数的自动化工艺配方控制
降低错误率和废品率
提高工程师生产力
产品价值
PRODUCT VALUES
全厂工艺配方管理运营
FULL FAB RECIPE MANAGEMENT
CIM 或 MES 系统仅关注与产品、步骤和设备相关的工艺配方 ID（PPID）的管理，缺少对每个单独设备的工艺配方管理。
智现未来eRMS可实现全厂工艺配方管理运营，显著改进质量、降低错误率和废品率，提高工程师生产力。
产品功能
PRODUCT FEATURES
工艺程序比较
工艺程序到工艺程序，EQP 到 EQP，EQP 到 RMS 数据比较
工艺程序上传和下载
实时工艺程序上传和下载
用户授权管理
批准工艺程序/用户授权和许可权限
链接的工艺程序浏览器
主工艺程序和辅助工艺程序的链接工艺程序视图
参数规格管理
通过参数级别，轻松进行规格限值管理
参数管理
通过管理工艺程序参数和参数建模进行参数趋势管理
版本控制
工艺程序和参数基础版本控制
工艺程序验证
可相互锁定，防止工艺程序故障
|
|