国内某显示面板龙头企业-LPCVD 案例解析
一、背景
LPCVD设备进行Dep工艺时,发生Tube Pressure Alarm,无法 按照工艺要 求继续生产,未完成Dep工艺。
影响:
① Chamber工艺环境差,无法满足生产要求;
② 产品未完成Dep工艺,降低设备稼动率,影响产品质量;
③ Chamber密封不良,存在Leak现象。
二、解决方案:FDC 设备异常监控系统
FDC 管控&异常处理流程
设备法兰密封圈老化,导致密封效果变差,发生Leak 事故(根本原因);
FDC实时管控ReactorA400LeakRate参数(相关参数),监控TEOS相关recipe、Step为CLOSE_FASTPUMP,且连续5点(避免单点偶发性OOC)超UCL触发Alarm;
设备EE/PE 再次确认Alarm产品,检查产品膜厚、均一性是否正常,报废或再工再次确认。
三、管控效益
提高设备稼动率:提前通知设备负责人,检查设备密封状态,预防设备发生Leak现象,保持设备工艺环境稳定性;
改善产品质量(优化生产环境):保障每次Dep工艺按照生产要求完成,改善产品膜厚的稳定性,提高膜均一性指标;
优化设备Parts更换时间,根据设备实际情况及时更换设备部件(密封圈、Pump等)。